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COSMOS新宇宙XPS-7氣體檢測(cè)儀
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特長(zhǎng)
ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、1臺(tái)で様々な半導(dǎo)體材料ガスを検知可能です。
カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時(shí)間とコストを削減できます。
重さわずか1.3kgの小型軽量タイプです。
ガス?jié)舛趣螇浠摔瑜?、警?bào)音(斷続音)のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易です。
用途
半導(dǎo)體工場(chǎng)など毒性ガスを使用する現(xiàn)場(chǎng)で、ガス漏洩検査や濃度測(cè)定に。
商品スペック
仕様?規(guī)格
ガス採(cǎi)気方式：自動(dòng)吸引式
ジシラン：FS/25p
幅(mm)：62
奧行(mm)：128
高さ(mm)：150
アンモニア：FS/100ppm
シラン：FS/25ppm
ジクロルシラン：FS/25ppm
アルシン：FS/250ppb
ホスフィン：FS/1.0ppm
ジボラン：FS/500ppb
セレン化水素：FS/250ppb
ゲルマン：FS/1.0 ppm
塩素：FS/5ppm
三フッ化塩素：FS/1.0ppm
塩化水素：FS/25ppm
フッ化水素：FS/10ppm
臭化水素：FS/10ppm
一酸化窒素：FS/100ppm
硫化水素：FS/50ppm
一酸化炭素：FS/250ppm
材質(zhì) -
質(zhì)量?質(zhì)量単位
1.3ｋｇ
使用條件 -
注意事項(xiàng) -
セット內(nèi)容?付屬品
ショルダーベルト
単3形アルカリ乾電池4本
フィルタエレメント2枚
製造國(guó) 日本